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行程 |
300*300mm |
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区分率 |
20nm |
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绝对定位精度 |
±300nm |
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重复定位精度 |
±100nm |
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速度 |
1m/s |
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加速度 |
1G |
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位置稳定性 |
±20nm |
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行走平面度 |
±1um |
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直线度 |
±1um |
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Pitch |
±2arcsec |
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Yaw |
±2arcsec |
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Roll |
±2arcsec |
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XY正交性 |
±1arcsec |
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13655559489 （孙经理）