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技术指标 |
数据 |
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有效行程 |
X轴:350mm Y轴:350mm |
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最大速度 |
X轴:1000mm/s Y轴:1000mm/s |
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速度稳定性 |
X轴:±1‰@300mm/s Y轴:1‰@300mm/s |
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最大加速度 |
X轴:1G Y轴:1G |
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重复定位精度 |
X轴:±0.3μm Y轴:±0.3μm θ轴:±1.5arcsec |
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绝对定位精度 |
X轴:±0.5μm Y轴:±0.5μm θ轴:±10arcsec |
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整准时间 |
X轴:50ms@±1μm/1G Y轴:60ms@±1μm/1G |
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直线度 |
X轴:±2μm Y轴:±2μm |
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行走平面度 |
X轴:±3μm Y轴:±3μm |
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XY正交度 |
±3μm |
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最大负载 |
10kg |
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光栅尺区分率 |
0.1μm |
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13655559489 （孙经理）